Nodweddion cynnyrch
Cefnogi fersiynau lluosog (PLC/PC) a phrotocolau cyfathrebu prif ffrwd amrywiol;
Perfformio dylunio a chynhyrchu yn unol â safon cynhyrchu diogelwch SEMI;
Gallu dylunio sianel uchel, UPH400 ~ 550pcs;
Yn addas ar gyfer dimensiynau cynnyrch lluosog a chylchgronau;
Dyluniad patent lefel wafferi MFC, sy'n atal gollyngiad nwy rhag achosi damweiniau diogelwch (yn cynnal nwyon risg uchel megis hydrogen);
Dyluniad patent o siambr selio uchel, hyd at 5pa;
Ongl cyswllt dŵr<10° (related to the material of product surface);
Dyluniad pedair sianel ar gyfer prosesu 4 cynnyrch ar yr un pryd, gydag electrodau gwaelod deuol, gan leihau'r amser ar gyfer mynediad ac ymadael bwrdd, gan wella effeithlonrwydd yn sylweddol, a sicrhau unffurfiaeth cynnyrch wrth brosesu.
manylebau technegol
|
Ffurfweddiad Swyddogaethol |
Paramedrau Technegol |
|
|
L × W × H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Offer |
Pwysau net (kg) |
1000 |
|
Cliriad ymylol(mm) |
600 yn y cefn, 600 ar y ddwy ochr |
|
|
Siambr |
Cyfrol(L) |
Tua 9 |
|
Sianel (rhifau.) |
4 |
|
|
Electrod gwaelod (pcs.) |
2 (swyddogaeth trawsnewid) |
|
|
Modd bwydo |
Cylchgrawn |
|
|
Dimensiwn cynnyrch addasol (mm) |
Lled: 40-100 Hyd: 150-300 |
|
|
Electrod |
Dimensiwn electrod (mm) |
528×300 |
|
Cyflenwad pŵer RF |
Pŵer safonol (kW) |
1 |
|
Amlder(MHZ) |
13.56 |
|
|
Rheoli nwy |
Hyd at dair sianel |
2 sianel (safonol), 3 sianel (dewisol) |
|
System reoli |
Rhyngwyneb peiriant-dynol |
PC + sgrin gyffwrdd |
|
Rhyngwyneb o bell |
Cyfathrebu |
Dewisol |
|
Pwmp gwactod |
Pwmp sych dewisol |
17CFM |
|
Pwmp olew dewisol |
195CFM |
|
|
Pwmp sych dewisol gyda swyddogaeth glanhau |
OES |
|
|
Cyfradd llif glanhau nitrogen (SLM) |
2 |
|
|
Amser gwactod(S) |
10月15日 |
|
|
Amser torri gwactod (S) |
3-4 |
|
|
Cyfleusterau ffatri |
Cyflenwad pŵer |
Tri-cyfnod 380V50/60Hz 4.5kW (pwmp olew) |
|
Dimensiwn a math o broses |
Swagelok 1/4 modfedd |
|
|
Purdeb nwy proses |
Gradd ddiwydiannol ac uwch |
|
|
Pwysedd nwy proses (psig) |
10-20 |
|
|
Dimensiwn a math o bibell glanhau nwy |
Swagelok 1/4 modfedd |
|
|
Glanhau purdeb nwy |
Gradd ddiwydiannol ac uwch |
|
|
Pwysedd nwy glanhau (psig) |
15 |
|
|
Dimensiwn a math o niwmatig |
Gwthiad 10mm-i'w ffitio |
|
|
Purdeb nwy niwmatig |
Aer cywasgedig, olew-rhydd, pwynt gwlith Llai na neu'n hafal i 7 gradd, gronynnau<5 |
|
|
Pwysedd nwy niwmatig (psig) |
70-90 |
|
|
Aer cywasgedig (mm) |
∅8 |
|
|
Cydymffurfiad |
Ardystiad |
SEMI |
|
Offer ategol |
Generadur nitrogen (dewisol) |
Dewisol ar gyfer glanhau nitrogen |
|
Oerydd dŵr (dewisol) |
Dewisol ar gyfer oeri electrodau |
|
|
Pecyn hydrogen (dewisol) |
Dewisol ar gyfer triniaeth hydrogen |
|
|
Prosesydd nwy gwacáu (dewisol) |
Dewisol ar gyfer triniaeth gwacáu fflworin |
|
|
Cludiant |
Cyfanswm pwysau (kg) |
1050 |
|
Nifer y pecynnau |
1 |
|
|
Pecynnu yn unol â safon SPM15 |
OES |
|
Tagiau poblogaidd: System Trin Plasma Gwactod Awtomatig VP-10S, System Trin Plasma Gwactod Awtomatig VP-10S